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Mikroelektronik · Optische Abbildung · Fotolithografie (Halbleitertechnik) · Immersion (Mikroskopie) · Fotomaske · Fotolack · Fotolithografie (Halbleitertechnik) · Projektionsbelichtung · Linse (Optik) · Wafer · Immersionsflüssigkeit · Brechungsindex · Numerische Apertur · Abbildungstiefe · Linsensystem
Quelle: Wikipedia-Seite zu 'Immersionslithografie' [Autoren]
Lizenz: Creative Commons Attribution-ShareAlike

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