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physik · Trockenätzverfahren · Focused Ion Beam · Argon · Vakuum · Substrat (Materialwissenschaft) · Impuls · Sputtern · Transmissionselektronenmikroskopie · Stickstoff · hochauflösende Transmissionselektronenmikroskopie · Integrierter Schaltkreis · Laser · Photoresist · Fotolithografie (Halbleitertechnik)
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