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MOEMS · Mikrospiegelaktor · Licht · spiegel · Flächenlichtmodulator · Mikroscanner-Array · Auslenkung · elektromagnetisch · elektrostatisch · thermoelektrisch · piezoelektrisch · Permanentmagnet · Leistung · quasistatisch · Kammantrieb
Quelle: Wikipedia-Seite zu 'Mikroscanner' [Autoren]
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