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Wiktionary
									
										Bedeutungen:
										 1. [Technik] Teilgebiet der Mikrotechnik, das sich mit der Lehre, Forschung, Entwicklung und Herstellung von Mikrosystemen befasst 
									
                                
									
										Synonyme:
										
										 1. Mikrosystemtechnologie 
									
                                

 
                    
