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Beschichtungsverfahren · Physikalische Gasphasenabscheidung · Dünne Schichten · Synthese · Substrat (Materialwissenschaft) · Dissoziation (Chemie) · Gefüge (Werkstoffkunde) · Textur (Oberflächenattribut) · Molekularstrahlepitaxie · Ionenquelle · Effusion (Physik) · Ionenstrahlsputtern · Magnetronsputtern · Laserablation · Elektronenstrahlverdampfer
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Quelle: Wikipedia-Seite zu 'Ionenstrahlgestützte Deposition' [Autoren]
Lizenz: Creative Commons Attribution-ShareAlike

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