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Vakuum · Beschichten · Dünnschichttechnologie · Chemische Gasphasenabscheidung · Gasphase · Substrat (Materialwissenschaft) · Kondensation · Thermisches Verdampfen · Elektronenstrahlverdampfer · Laserstrahlverdampfen · Lichtbogenverdampfen · Molekularstrahlepitaxie · Sputtern · Ionenstrahlgestützte Deposition · Ionenplattieren

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