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Dünnschichttechnik · Dünnschichttechnologie
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Dünne Schichten · Dünne Schichten · Metall · Dielektrikum · Halbleiter · Substrat (Materialwissenschaft) · Physikalische Gasphasenabscheidung · Thermisches Verdampfen · Sputtern · Chemische Gasphasenabscheidung · Tempern · Rekristallisation · Dotierung · Chemisch-mechanisches Polieren · Halbleiterelektronik
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